深圳新聞網(wǎng)2026年5月19日訊（記者 邱嘉熙）近日，位于深圳坪山的捷佳偉創(chuàng)（全稱：深圳市捷佳偉創(chuàng)新能源裝備股份有限公司）迎來重磅喜訊——公司首次將微納米氣泡水清洗工藝應(yīng)用于半導(dǎo)體/先進(jìn)封裝清洗裝備，且該裝備已成功出貨至海外，為全球高端器件精細(xì)化清洗交付全新解決方案，彰顯中國半導(dǎo)體裝備企業(yè)的技術(shù)硬實(shí)力。

隨著先進(jìn)封裝技術(shù)迭代，半導(dǎo)體器件結(jié)構(gòu)愈發(fā)精密，傳統(tǒng)清洗工藝已難以適配高端需求。公司深耕創(chuàng)新，將微納米氣泡水技術(shù)與清洗裝備深度融合，打造出兼具高效、環(huán)保與精準(zhǔn)優(yōu)勢的產(chǎn)品，實(shí)現(xiàn)高端裝備出海突破。

裝備核心優(yōu)勢可拆解為兩大維度，精準(zhǔn)適配高端需求。高效環(huán)保清洗，以微納米氣泡水為核心介質(zhì)，無需化學(xué)試劑，綠色環(huán)保；依托其表面電荷、低表面張力特性，可精準(zhǔn)去除帶電微粒、深入微細(xì)結(jié)構(gòu)清潔，搭配特定氣源產(chǎn)生的羥基自由基，能高效清除有機(jī)污染，同時(shí)避免線路圖形坍塌。高精度清洗能力，可適配TSV、微細(xì)電極等精密工藝，實(shí)現(xiàn)AR=10:1高縱橫比TSV產(chǎn)品清洗與刻蝕；能去除28nm級微小顆粒及金屬雜質(zhì)，50-100nm顆粒去除率超99%，支持雙面掩膜同時(shí)清洗，提升效率與一致性。

作為坪山區(qū)優(yōu)質(zhì)企業(yè)代表，捷佳偉創(chuàng)深耕半導(dǎo)體及電子專用設(shè)備領(lǐng)域多年，憑借自主研發(fā)的一系列核心技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了從PERC到N型電池、鈣鈦礦電池技術(shù)的全面覆蓋。目前，公司產(chǎn)品已覆蓋亞洲、非洲、歐洲、美洲等全球幾十個(gè)國家和地區(qū)，為300多家企業(yè)提供設(shè)備與服務(wù)，全球主要裝備市占率超過50%。

2025年，捷佳偉創(chuàng)憑借強(qiáng)勁的發(fā)展動(dòng)能與卓越的綜合實(shí)力，成功入選“廣東省民營企業(yè)100強(qiáng)”“廣東省制造業(yè)民營企業(yè)100強(qiáng)”，并躋身“中國制造業(yè)民營企業(yè)500強(qiáng)”，成為坪山一張亮麗的高端制造名片。

當(dāng)前，坪山正錨定打造先進(jìn)制造業(yè)集聚區(qū)和未來產(chǎn)業(yè)試驗(yàn)區(qū)，形成“車、藥、芯、智”齊頭并進(jìn)的產(chǎn)業(yè)格局。在這片產(chǎn)業(yè)沃土上，有近50家企業(yè)在細(xì)分賽道市占率位居全國乃至全球前列。以捷佳偉創(chuàng)為代表的坪山企業(yè)，正持續(xù)向高端裝備領(lǐng)域縱深拓展，加快全球化布局步伐。